SPS-300 标准真空运行
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包含真空运行所需的全部部件，包括密封件、阀门、真空规和端口盖，以及一台可达到 mTorr 真空度的粗抽泵。
包含真空运行所需的全部部件，包括密封件、阀门、真空规和端口盖，以及一台可达到 mTorr 真空度的粗抽泵。
包含真空运行所需的全部部件，包括密封件、阀门、真空规和端口盖，以及一台可达到 mTorr 真空度的粗抽泵。SPS-300 本体能够维持更高水平的真空运行，但需要涡轮泵才能达到这些真空度。如需更高的真空运行（最高可达微 Torr 级应用），请改购"SPS 300 超高真空运行"升级，它除包含上面列出的所有部件外，还配备一台涡轮泵。
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